引言
基于CCD的尺寸测量一般采用非接触测量方式，由于CCD器件有精度高、动态性能好、便于同计算机组成高性能测控系统等特点，被广泛的应用于各种加工件的在线检测和高精度、高速度的检测技术领域。
下面就几种测量方案及误差进行分析。
1、微小尺寸测量
当被测尺寸L<1mm时，如果采用通过光照，直接读出反映被测尺寸大小的电荷信号的测量方法，则产生很大的测量误差。光电测径仪采用小孔成像实像放大的方法进行测量，光电测径仪对0.1~10mm范围内的轧材测量精度可以达到0.003mm，实像微米级的外径尺寸在线测量。
2、一般尺寸测量
当被测工件尺寸L满足1mm<L<b时，可以采用平行光成像法进行测量，该测量方案相对比较简单，只需要通过计数器检测出被工件挡光部分CCD光敏元长度，即可测出被测工件尺寸。
设工件被测尺寸为L，CCD挡光部分所插入的计数器脉冲数为N，脉冲当量为s，则
L=Ns(cosθ)
式中，θ为平行光线与CCD光敏面法线之间的夹角。
误差分析：
由上式可知，测量误差ΔL为：
ΔL=(sΔN+ΔsN)cosθ-Ns(sinθ)Δθ (5)
Δs与CCD的像敏元尺寸及像敏元件中心距精度相关，一般可以达到0.01mm；ΔN与所选用的计数器有关，也可以达到很高精度，所以，该方案能够实现高精度尺寸测量。
3、较大尺寸测量
当被测尺寸大于CCD感光面尺寸时，采用缩小成像测量法。测量原理与一般尺寸测量相同，由小孔成像法，实现被测尺寸缩小成像在CCD光敏面上，达到测量目的。
4、大尺寸测量
当被测工件尺寸足够大，可以采用边缘检测原理实现大尺寸测量的目的。边缘检测原理是采用两套CCD测量系统实现大尺寸工件边缘测量，然后将两套CCD测得的边缘位置与两CCD相对位置值综合起来，得出被测工件尺寸。通过改变两CCD之间的距离，来实现可变大尺寸测量。这种方法测量精度可以优于0.05mm。
结语
以上即为CCD生产的光电测径仪提高测量精度的简单方法，能够有效的使得被测物的测量精度更高，减小测量误差，实现高精度的检测。
本文由保定市蓝鹏测控科技有限公司编写
