P22系列一维θx压电偏转镜

P22系列压电偏转镜是一维θx轴偏转的压电偏转镜/快反镜,柔性铰链导向设计具有零摩擦及零静态阻力、优异的导向精度,提供亚微弧度的分辨率和优异的定位稳定性。光束偏转范围可达6mrad, 具有极快的响应速度(毫秒至微秒级),非常适于动态操作(例如跟踪、扫描、漂移及振动消除等)及光学和样品的静态定位。

P22系列一维θx压电偏转镜

特点

一维θx轴偏转

偏转角度达3mrad

亚毫秒响应时间

闭环定位精度高

应用

图像处理与稳定

激光扫描

隔行扫描、抖动

光学滤波器/开关

光束偏转

样品检测

运动方式

P22系列压电偏转镜如下图所示安装时,它产生上下俯仰运动,如下图所示。

P22系列一维θx压电偏转镜

安装固定与镜片粘接

P22系列压电偏转镜的镜片负载面为φ15mm的平面,镜片通过粘接方式固定于该面,我们可为您将镜片粘接好,便于您后续使用,收到压电偏转镜后只需安装,即可使用。

P22.U3S压电偏转镜在底端具有两个用于固定的M3安装螺纹孔。

P22系列一维θx压电偏转镜

结构原理与控制

P22.U3S偏转镜的移动平面由一个铰链支撑,并且由一个线性压电促动器推动。铰链确定了轴心点,兼起到给压电促动器施加预紧力的作用。单个铰链单个促动器设计的优点是结构简单、体积小巧、性价比高等。如果角度偏转时工作环境温度变化范围较大,推荐使用芯明天差分驱动压电偏转镜。

一个输出通道的压电控制器即可驱动P22.U3S压电偏转镜,可选用芯明天E53.D压电控制器,体积小,功能全,具有闭环伺服控制功能,可通过外部模拟信号或计算机软件进行控制,操作便捷、易于集成。

P22系列一维θx压电偏转镜

技术参数

型号:P22.U3S

运动自由度:θx

标称行程(0~120V):2.5mrad(≈ 520秒)

行程范围(0~150V):3mrad(≈ 600秒)

传感器类型:SGS

闭/开环分辨率:0.3/0.1μrad

闭环线性度:0.2%F.S.

闭环重复定位精度:0.15%F.S.

空载谐振频率:3kHz

闭/开环空载阶跃时间:3/0.8ms

空载频率(10%行程):100Hz

空载频率(100%行程):40Hz

静电容量:1.8μF

材质:钢

重量:80g

注:以上参数是采用 E00/E01系列压电控制器测得。

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