P73.Z200系列Z向200微米行程压电物镜定位器!P73系列压电物镜定位器为大行程压电物镜定位器,Z轴直线运动范围可选200μm、500μm及1mm">

P73.Z200系列Z向200微米行程压电物镜定位器详解

P73.Z200系列Z向200微米行程压电物镜定位器!

P73系列压电物镜定位器为大行程压电物镜定位器,Z轴直线运动范围可选200μm、500μm及1mm。P73.Z200是P73系列中200微米行程的版本,它采用柔性铰链设计机构,无摩擦、运动直线性好,且闭环版本定位精度高。分离式螺纹适配器设计,可适配多种型号的显微镜,广泛应用于大范围显微成像、双光子显微镜等领域。

P73.Z200系列Z向200微米行程压电物镜定位器!

特点

行程200μm

承载能力0.2kg

毫秒级响应时间

闭环重复定位精度高

聚焦稳定性好

典型应用

三维成像

干涉/计量

生物科技

表面结构分析

共焦显微

半导体测试

开/闭环控制电压与位移曲线

P73.Z200系列Z向200微米行程压电物镜定位器!


注:施加至压电物镜定位器的电压约为控制输入电压的12倍。

螺纹适配器便于安装

P73.Z200系列压电物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36" 等,也可定制,便于与显微镜集成安装。可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。它也可以通过适配器与手动调节台相结合使用。

技术参数

型号:P73.Z200S

运动自由度:Z

标称行程范围:160μm@120V
行程范围:200μm@150V

传感器类型:SGS

闭/开环分辨率:11/5nm

闭环线性度:0.1%F.S.

闭环重复定位精度:0.05%F.S.

推/拉力:80/10N

运动方向刚度:0.25N/μm

空载谐振频率:210 Hz

闭/开环空载阶跃时间:20/10ms

闭环空载工作频率:40Hz@10%行程

闭环空载工作频率:10Hz@100%行程

承载能力:0.2 kg

静电容量:7.2μF

材质:钢、铝

重量:360g

注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

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