压电陶瓷管扫描器是径向极化压电材料的薄圆管体,具有四个外部电极和连续的内部电极。当电压施加到外部电极之一时,相应区域的致动器管壁膨胀,这引起管尖的垂直收缩和大的横向偏转。圆周电极可用于垂直或径向伸展和收缩。
压电管扫描器广泛用于扫描探针显微镜、光纤拉伸和光束扫描等应用。可根据要求提供定制尺寸、规格。
技术参数
注:若工作在谐振频率点,施加的驱动电压必须降到驱动电压上限的5%。
驱动
在驱动内部电极配置中,X和Y电极以标准方式相等且相反极性的电压驱动。通过向内部电极施加满量程负电压,获得等于垂直扫描范围的一半的收缩。该方法利用压电材料更高的正电场强度,其通常是负电场强度的五倍。必须注意不要对内部电极施加正电压,因为这会导致去极化。
电极
压电陶瓷管配有镍薄膜电极。内部电极是连续的,外部电极是四分区的。通过用稀硝酸蚀刻可以去除表面电极。可根据要求提供定制电极配置。
在需要高磁场的应用中,镍电极可以用铜或金代替。铜是一种经济的选择,但金电极具有优异的耐腐蚀性和导电性。
真空兼容性
压电管不含任何除气材料,并且完全兼容真空。
应用案例
压电陶瓷扫描管用于光纤扫描。