随着工业技术和密封技术的发展，泵在电力，化工，石油等多个行业大量使用，泵的密封对整个设备运转来说起着重要的作用，泵的密封系统泄露将会严重影响到设备的正常运转，尤其是高温压泵的发展，因此要对泵的密封性，更加严格
泵的常见密封方式包括机械密封、填料密封、动力密封、磁力密封、波纹管密封、O形圈密封、垫片密封、隙缝密封和迷宫式密封等。需要注意的是泵用机械密封的种类繁多，型号各异，但泄露点主要有以下几个方面：
轴套与轴间的密封
动环与轴套间的密封
动、静环间密封
对静环与静环座间的密封
密封端盖与泵体间的密封
一般来说，轴套外伸的轴间、密封端盖与泵体间的泄漏比较容易发现和解决，但需细致观察，特别是当工作介质为液化气体或高压、有毒有害气体时，相对困难些。其余的泄漏直观上很难辩别和判断，须在长期管理、维修实践的基础上，对泄漏症状进行观察、分析、研判，才能得出正确结论。
泵密封泄漏检测可使用气体质量流量控制器- MFC2000系列在使用时机泵因为漏气和机械故障而造成不可估量的损失,有效的提升了该机泵密封泄漏检测装置的实用性,同时也为机泵的生产带来了很多便利.
气体质量流量控制器- MFC2000系列流量控制范围从几毫升到200L/min的流量选择。MFC2000质量流量控制器采用SIARGO公司专有的MEMS流量传感芯片，集成了时域流量传感技术和智能电子技术。与市场上传统的量热式流量传感技术相比，这种独特的时域流量传感技术消除了一些常见气体的敏感性。而对于另外一些敏感性气体，可以配合软件实现气体识别。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料钝化，并结合防水、防油纳米涂层，产品性能和可靠性得以大幅提高。时域流量传感技术还提供了更好的线性度,并使温度效应大幅降低。
原文标题 : 气体质量流量控制器在泵密封泄漏检测的技术方案
