配有电容位移测量验证的压电控制器，如此之叫法，是因其本质为压电控制器，但与通常压电控制器不同的是，它额外配有电容式位移测量模块，该模块可用于测量微运动型产品的位移量，测量范围一般为0～200μm。该压电控制器的功能及使用方法如下。
功能1：可用于验证闭环压电纳米定位系统的位移量
闭环压电纳米定位系统是可进行位移闭环伺服控制的压电纳米运动定位系统，它可对压电促动器的运动位移量进行实时的反馈及控制，在这种系统中，配备的压电控制器为闭环压电控制器，它由功率放大模块、闭环伺服模块、供电模块组成，可选配上位机控制模块。
该闭环压电控制器配备电容式位移测量模块后，可对压电纳米定位系统自身的位移量进行测量。流程如下图所示。
功能2：可用于验证开环压电纳米定位系统的位移量
开环压电纳米定位系统是可进行基本运动控制的压电纳米运动定位系统，它可对压电促动器的运动位移量进行控制，在这种系统中，配备的压电控制器为开环压电控制器，它由功率放大模块、供电模块组成，可选配上位机控制模块。
该开环压电控制器配备电容式位移测量模块后，可对压电纳米定位系统自身的位移量进行测量。流程如下图所示。
