配有电容位移测量验证的压电控制器

功能3：可作为压电纳米定位系统的闭环控制

在开环压电纳米定位系统中配备该电容式位移测量模块，可作为压电控制器的伺服控制，使得整个系统形成闭环控制。另外，集成该电容式位移测量模块的压电控制器，它也可以同“功能2”一样，可对压电纳米定位系统自身的位移量进行测量。2种流程如下图所示。

功能4：可测量其他运动设备的位移量

若您正使用的其他压电运动设备，位移范围在0～200μm范围内，也可使用该电容式压电控制器进行测量。