压电扫描台:基于二维压电透射式微扫描器的红外超分辨率成像

N62.XY20透射式微扫描器驱动方式

下图中,上下左右四处方框代表的是N62.XY20透射式微扫描器两个方向相对应的压电陶瓷,可以看出,它的驱动方式为差分驱动方式,每一方向都需要一个驱动电压范围在0到150V和一个恒定电压+150V。微扫器体在零位置时,需每通道驱动电压在75V(出厂时根据位移所对应的电压确定)位置,当每通道驱动电压高于75V时,微扫器体位置向X1、Y2方向移动,当每通道驱动电压低于75V时,微扫器体位置向X2、Y1方向移动。通过外部0~5V或0~10V模拟信号输入(可自由选择),控制微扫器体整个台面进行满行程移动。

N62.XY20透射式微扫描器驱动原理图

N62.XY20透射式微扫描台技术参数

型号:N62.XY20S

运动自由度:X、Y

标称行程范围:±8μm/轴@120V

行程范围:±10μm/轴@150V

传感器类型:SGS

通孔尺寸:?26mm

闭/开环分辨率:1/0.5nm

闭环线性度:0.3%F.S

闭环重复定位精度:0.1%F.S

俯仰/偏航/滚动:<10μrad

推/拉力:44/44N

运动方向刚度:2.2N/μm

空载谐振频率:2000Hz

闭/开环空载阶跃:1.5/0.7ms

空载10%行程工作频率:150Hz

承载能力:1kg

静电容量:1.6μF/轴

材质:钢、铝

重量:180g±5%

注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。最大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

芯明天具有多种透射式微扫描器,N62.XY20仅为其中一种,以下是芯明天几款透射式微扫器举例。

P12系列压电透射式微扫描器

运动自由度:XY或XYZ

行程范围:100μm/轴

中心通孔:φ25或35mm


P16系列压电透射式微扫描器

运动自由度:XY

行程范围:50或100μm/轴

中心通孔:φ20mm

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