压电扫描台:基于二维压电透射式微扫描器的红外超分辨率成像


N65系列压电透射式微扫描器

运动自由度:XY

行程范围:15μm/轴

中心通孔:25×27.5mm(似椭圆)


N12系列压电透射式微扫描器

运动自由度:XY或XYZ

行程范围:100μm/轴

中心通孔:45×45mm


XD102系列压电透射式微扫描器

运动自由度:XY

行程范围:17μm/轴

中心通孔:φ10mm

 

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